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本项目的技术目标是实现一种高精度、高稳定性的显微膜厚仪产品开发,能够在微纳米尺度上精确测量膜层的厚度及其均匀性。具体目标包括:1) 实现膜厚的测量精度达到纳米级,单点测量精度优于10nm。2) 配备运动机构能够对膜厚区域进行全面的面积扫描,确保数据的高度一致性和可重复性。3) 实现膜厚仪产品小规模量产,保证量产的批次产品一致性及质量稳定。
面议
¥ 3,000,000 元
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