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一种重掺半导体硅单晶体内碳含量简易测试方法
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发布时间: 2024-10-29 10:21:13 剩余时间: 364天
需求编号
6036102338135040
发布者
扬州博士创新技术转移有限公司
需求状态
待解决
意向投入
面议
联系方式
0514-xxxx3909 【点击查看】
重掺半导体硅单晶体内碳含量简易测试方法
针对轻掺半导体硅单晶,体内碳含量可以通过FTIR的方方式进行测试,但是针对重掺半导体硅单晶,由于掺杂杂质的影响,无法通过FTIR的方式进行测试,比较难获得体内碳含量的数据
目前了解,只能通过SIMS进行测试,设备价格太过昂贵,且测试效率低,对于产业化使用有一定局限性
重掺(硼、磷、砷、锑)单晶硅晶体中碳含量的简易测试方式,成本较低,适合量产监控之方法。
要求测试精度达0.01ppma
技术领域
新材料
需求类型
关键技术研发
有效期至
2025-10-30
合作方式
合作开发
需求来源
所在地区
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