重掺半导体硅单晶体内碳含量简易测试方法
针对轻掺半导体硅单晶，体内碳含量可以通过FTIR的方方式进行测试，但是针对重掺半导体硅单晶，由于掺杂杂质的影响，无法通过FTIR的方式进行测试，比较难获得体内碳含量的数据
目前了解，只能通过SIMS进行测试，设备价格太过昂贵，且测试效率低，对于产业化使用有一定局限性
重掺（硼、磷、砷、锑）单晶硅晶体中碳含量的简易测试方式，成本较低，适合量产监控之方法。
要求测试精度达0.01ppma