本发明公开了一种制备竹节状SiC纳米线的方法,将打磨抛光烘干后的块状石墨材料置于沉积炉中,低压1kPa下通电升温至预定温度后,向装有甲基三氯硅烷的鼓泡瓶中通入载气氢气,将反应气源带入炉堂内进行反应。沉积结束后随炉冷却至室温,即可得到大量高纯竹节状SiC纳米线。本发明制备工艺简单,不需要预先合成工艺;沉积温度较低,降低了能耗和制备成本;制备的竹节状SiC纳米线纯度较高;可通过工艺参数的调节实现竹节状SiC纳米线的可控生长,易于实现工业生产;解决了现有技术中竹节状SiC纳米线制备工艺较为复杂、合成温度高、能耗大、成本高、产物难以控制的问题。
商品类型 | 专利 | 申请号 | CN201610028462.3 | IPC分类号 | |
专利类型 | 发明 | 法律状态 | 有权 | 技术领域 | |
交易方式 | 技术转让 | 专利状态 | 已授权 | 专利权人 |
面议
面议
面议
面议